Magnetische afscherming
Magnetische afscherming is een belangrijk aspect voor fijnmechanische actuatoren voor MECAL om frames voor machines in de chip industrie te stabiliseren. Magnetische velden kunnen interferentie vertonen met de fijngevoelige elektronica die voor de industrie worden gebruikt. Multiphysics Finite Element Method simulaties worden gebruikt om de actuatoren te simuleren en te bepalen welke onderdelen het meeste invloed hebben op de magnetische afscherming. De simulaties betreffen zowel statische als dynamische magnetische velden. De interesse voor MECAL lag vooral in het laag frequente gebied van de magnetisch afscherming, typisch tussen stationair gedrag en enkele kHz.
FEM simulatie van de actuator
Het huidige ontwerp werd in de Finite Element Method (FEM) model ingevoerd, en de stationaire velden werden bepaald. Heel belangrijk zijn de niet-lineaire input gegevens van de materialen die door de leverancier werden aangeleverd. Tijdens de werkzaamheden werd duidelijk welke onderdelen een cruciale rol spelen in de afscherming. Een optimale inrichting van de afscherming werd door Physixfactor bepaald waarbij direct kon worden bespaard op materiaal kosten voor dit onderdeel.
Resultaten FEM simulaties
MECAL werd in staat gesteld aan de hoge eisen van de afscherming te voldoen. Het ontwerp werd door de klant geaccepteerd en de werking in de praktijk voldeed aan de eisen, conform het Finite Element Method model.