Simuleren van een MEMS resonator is van belang voor de productie omgeving in de semi conductor industrie. Vele modules uit de software van COMSOL konden worden aangewend om het trillingsgedrag en de verlies posten in kaart te brengen. Enkele voorbeelden van een simulatie zijn:

• trillingen en eigen frequenties.
• mode coupling
• anker verliezen
• demping in silicium materiaal
• lage druk gas demping van de resonator
• invloed van sporen vervuiling.
• elektrische capaciteit als functie van driver frequentie.