NXP

Micro-electro-mechanical systems of kortweg MEMS, zijn kleine systemen in silicium substraten die uit een combinatie van elektronische en mechanische componenten bestaan. Alle componenten van een MEMS zijn op een silicium substraat gezet via lithografische technieken. De MEMS resonator bij NXP (voormalige halfgeleiderdivisie van Philips) zijn vervaardigd via “micromachining” processen, die gebruikmaken van technologieën die ook gebruikt worden om geïntegreerde schakelingen (IC’s) te fabriceren. Tijdens de IC fabricage ondergaan wafers met MEMS structuren vele proces stappen. Elke stap levert een meer of mindere variatie op van het product. Al deze variaties werden gesimuleerd en een gedegen inzicht werd verkregen over de stabiele werking van de MEMS.

MEMS resonator

Bij  NXP in Nijmegen worden verschillende MEMS componenten vervaardigd.  Microresonatoren worden gezien als de opvolger van de al oude kristallen die elektronische componenten aansturen via een klokfrequentie. De eisen die aan deze producten worden gesteld zijn uiteraard hoog, zo mag de frequentie niet variëren met de temperatuur en moet het ook stabiel blijven gedurende hun levensduur.

. De complexe multi-fysische simulaties resulteerden in een set van specificaties voor de productieomgeving, zodat de producten met een laag uitval percentage geproduceerd kunnen worden.

MEMS resonator

Capacitief gedrag van een MEMS resonator is erg belangrijk voor de werking van het product gedurende allerlei omstandigheden. Rechts is een indruk gegeven van de elektrische veldlijnen tussen de onderdelen van een MEMS resonator.